纳米硬度（根据总施加载荷的大小，一般在700mN以下，有的生产商为了便于研究者模拟显微硬度，配有10N载荷附件。）
纳米硬度计有压痕硬度和划痕硬度两种工作模式，它是一种检测材料微小体积内力学性能的先进测试仪器。由于压痕或划痕深度一般控制在微米甚至纳米尺度，该仪器是进行电子薄膜、各类涂层、材料表面及其该改性的力学性能检测的理想手段。它不需要将表层从基体上剥离，可以直接给出材料表层力学性质的空间分布，例如，能检测出焊点及其附近材料的力学性质。
纳米硬度测试过程中可自动记录载荷－压深曲线，能够获取薄膜（涂层）的硬度、弹性模量、薄膜（涂层）自身结合强度、膜基界面结合强度、残留应力、屈服强度以及应变硬化率等力学性能数据。
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